中文无码卡卡_亚洲国产AV网_色五月超碰_日韩精品一区二区无卡卡_大香蕉AV资源_日韩午夜中文AV电影_日本囯产中文一区_神马影院久久久久久骚女_国产剧情男女久久婷婷亚洲_蝌蚪窝成人免费在线观看_精品无吗短片_久久无遮挡二区日韩_伊人精品欧美在线观,妈妈的职业韩剧结局原声在线观看视频,免费看国产成人无码片,黑人巨大两根一起挤进的视频 ,午夜私人成年影院,欧美乱码精品一区二区三区,黑料门独家爆料吃瓜在线,成品人和精品人哪种颜色最好看,高清毛片AAAAAAAAA片,欧美日韩精品亚洲,竹菊影视一区二区三区,亚洲欧美日韩精品专区__,无码免费专区午夜等最新內容,日本无码全黄二区三区大片免费看 ,久久99国产视频,最新国产在线拍揄自揄视频,亚洲日韩色欲无码精品,午夜影院在线观看,色窝窝色蝌蚪在线视频,人妻夜夜爽天天爽三区麻豆,免费人妻无码不卡中文字幕,乱码精品公司,久久精品国产亚洲天美久久,韩国乱码卡一卡二卡新区网站,国产午夜成人免费看片无遮挡,国产精品爽黄天堂片,国产麻豆精品,国产一区二区三区国产精品,国产系列曦曦公厕在线,国产熟妇搡搡七区,国产手机在线国内精品

勻膠機是在速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
概述
該設備主要用于晶片涂光刻膠，有自動、手動和半自動三種作方式。

送片盒中的晶片，自動送到承片臺上，用真空吸附，在主軸電機的帶動下旋轉，轉速100-9900轉/分(±10轉/分)，起動加速度可調。每道程序的持續時間，轉速、加速度、烘烤溫度、烘烤時間、預烘時間等藝參數均可通過編程控制。

勻膠機有個或多個滴膠系統，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現了多點滴膠或膠口移動式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm，同晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤位，有隧道式遠紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過程在密封的爐子中行，通過抽真空排除揮發出來的有害物質。前烘結束后，將晶片送入收片盒內。

主軸轉速的穩定性和重復性是決定膠膜厚度均勻性和致性的關鍵，起動加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。